Название: Основы физики микроэлектронных систем металл-диэлектрик-полупроводник
Автор: Литовченко В.Г., Горбань А.П.
Год издания: 1978
Страниц: 316
Формат: djvu
Размер: 3,95 MB
Описание: В монографии рассмотрены методы получения слоистых структур типа диэлектрик — полупроводник, металл — диэлектрик — полупроводник, способы различных активных воздействий на их физические свойства и приборные характеристики. Большое внимание уделено изложению физических представлений о механизмах протекания неравновесных явлений в полупроводниках и диэлектриках.
     Рассчитана на научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области полупроводниковой интегральной электроники.