Название: Свойства структур металл-диэлектрик-полупроводник
Автор: Ржанов А.В.
Год издания: 1976
Страниц: 280
Формат: djvu
Размер: 10,26 MB
Описание: Монография посвящена механизмам рассеяния носителей заряда в инверсионных каналах, процессам захвата их на поверхностные состояния границы раздела полупроводник — диэлектрик и состояния в диэлектрике. Рассмотрены вопросы протекания тока через диэлектрик и вопросы нестабильности МДП-структур, а также механизмы генерации неосновных носителей заряда в них при неравновесных условиях.
     Обсуждаются также структуры приповерхностной области полупроводника и связанные с этим методики исследования.
     Монография будет полезна широкому кругу специалистов по физике полупроводников, специалистам в области научных основ микроэлектроники, инженерам, занимающимся разработкой элементов интегральной микроэлектроники на основе МДП.