Название: Методы измерения параметров полупроводниковых материалов
Автор: Павлов Л.П.
Год издания: 1987
Страниц: 239
Формат: djvu
Размер: 3,55 MB
Описание: Целью курса "Методы измерения параметров полупроводниковых материалов" является изучение экспериментальных методов измерения параметров, которые являются основными для производственного контроля качества полупроводниковых материалов и структур и составляют основу многих методов исследования в области физики полупроводников и полупроводниковых приборов.
     Основное внимание в книге уделено методам измерения удельной электрической проводимости, концентрации носителей заряда и легирующих примесей, подвижности основных и неосновных носителей заряда, коэффициента диффузии, диффузионной длины и объемного времени жизни неосновных носителей заряда, объемного генерационного времени неравновесных носителей заряда, скорости поверхностной рекомбинации, параметров глубоких уровней и некоторых других параметров.
     Изложение базируется главным образом на материалах предыдущих курсов "Физика полупроводников" и "Радиотехника и радиоизмерения".