Название: Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур
Автор: В.В. Батавин, Ю.А. Концевой, Ю.В. Федорович
Год издания: 1985
Страниц: 264
Формат: pdf
Размер: 11,59 MB
Описание: В книге "Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур" рассмотрены физические основы методов измерений электрофизических и структурных параметров полупроводниковых материалов и эпитаксиальных слоев, а также освещены вопросы их практической реализации. Анализируются причины возникновения погрешностей, даются рекомендации по ограничению и устранению источников ошибок измерений. Приводятся сведения о контрольно-измерительных средствах лабораторного и промышленного применения и их характеристиках.
     Для инженерно-технических работников, занимающихся контролем качества и исследованием физических свойств полупроводниковых материалов и структур.
     Несмотря на солидный возраст издания, книга не потеряла своей актуальности и в настоящее время в связи с практически полным отсутствием современной отечественной литературы аналогичного уровня. В особенности она может быть полезна преподавателям и студентам при изучении дисциплин, связанных с полупроводниковым материаловедением.