Название: Основы материаловедения и технологии полупроводников
Автор: И.А. Случинская
Год: 2002
Страниц: 376
Формат: pdf
Размер: 2,58 MB
Описание: В книге излагаются основы материаловедения и технологии полупроводников, которые позволяют получить общее представление об основных закономерностях образования полупроводниковых фаз, о механизмах роста, условиях получения, а также получить представление о наиболее широко используемых методах производства объемных полупроводников и эпитаксиальных полупроводниковых пленок с заданными свойствами.