Название: Электронная и ионная оптика
Автор: Силадьи М.
Серия: 1990
Год издания: 639
Формат: djvu
Размер: 6,49 MB
Описание: Монография американского физика Аризонского университета посвящена важному направлению физической электроники - электронной и ионной оптике, основу которой составляют процессы формирования и движения пучковых заряженных частиц в электрических и магнитных полях.
Автор является одним из ведущих в мире специалистов в этой области. Особенно большой известностью пользуются его научные труды по разработке методов автоматизированного проектирования, синтеза и оптимизации фокусирующих устройств электронной и ионной оптики.
Электронная и ионная оптика находит все более широкое применение при создании ускорителей элементарных частиц, электронно-лучевых приборов, спектрометров, установок для субмикроиной литографии. Математический аппарат ориентирован на моделирование процессов на ЭВМ.
Принципы моделирования основаны на аналогии между световой геометрической оптикой и законами движения заряженных частиц в электростатическом и магнитном полях.
Для научных работников, инженеров и аспирантов, специализирующихся в области электронно-лучевых приборов, ускорителей элементарных частиц и полупроводниковой микролитографии.