Название: Вакуумная и плазменная электроника. Учебное пособие
Автор: Битнер Л.Р.
Год издания: 2007
Страниц: 150
Формат: pdf
Размер: 1,94 MB
Описание: Учебное пособие предназначено для студентов специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и студентов направления 210100 «Электроника и микроэлектроника» (бакалавриат), изучающих дисциплину «Вакуумная и плазменная электроника».
     В пособии рассматриваются вопросы, относящиеся к эмиссионной электронике, особенностям движения заряженных частиц в электрических и магнитных полях, элементарным процессам в плазме и свойствам газового разряда.
     Излагаемый материал опирается на знания, полученные студентами при изучении курса общей физики, а также дисциплин «Физика твердого тела», «Материалы и элементы электронной техники».
     С учетом специфики специальности в пособие включен раздел «Применение плазменных технологий для осаждения тонких пленок», предназначенный для самостоятельного изучения.