Название: Зондовые нанотехнологии в электронике
Автор: Неволин В.К.
Год издания: 2006
Страниц: 160
Формат: pdf
Размер: 7,60 MB
Описание: Процесс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функиональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология.
     В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельтных диодов и атомно-силовых микрпоскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения.
     Монография полезна для ученых, инженеров и преподавателей высшей школы, студентов и аспирантов, бакалавров и магистров, специализирующихся в области нанотехнологии и наноматериалов, микро- и нано- системной техники.