Название: Технология интегральной электроники
Автор: Ануфриев Л.П., Бордусов С.В
Год издания: 2009
Страниц: 379
Формат: pdf
Размер: 7,38 MB
Описание: Учебное пособие включает базовые технологические процессы и оборудование для производства изделий интегральной электроники. Предназначено для закрепления и углубления теоретических знаний, ознакомления с современными технологическими процессами и автоматизированным технологическим оборудованием для изготовления изделий интегральной электроники.