Название: Материаловедение в микроэлектронике
Автор: Палатник Л.С., Сорокин В.К.
Год издания: 1977
Страниц: 280
Формат: pdf
Размер: 12,48 MB
Описание: B книге "Материаловедение в микроэлектронике" освещены основные вопросы материаловедения в области микроэлектроники. Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции на поверхности газов и паров, вопросы диффузии и приповерхностный слой примесей, а также методы нанесения и свойства пленочных материалов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и эпитаксиальных пленок кремния.
     Книга "Материаловедение в микроэлектронике" предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, а также может служить в качестве учебного пособия по техническим проблемам конструирования и производства микросхем для студентов и аспирантов вузов.