Название: Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем
Автор: Мокеев О.К., Романов А.С.
Год издания: 1979
Страниц: 272
Формат: djvu
Размер: 17,02 MB
Описание: В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование.