Название: Справочник по технологии микроэлектронных устройств
Автор: Готра З.Ю.
Год издания: 1986
Страниц: 287
Формат: djvu
Размер: 4,78 MB
Описание: Приводятся данные о материалах, которые применяются при производстве микроэлектронных устройств, о способах очистки, механической, химической и электромеханической обработки. Рассмотрены вопросы диффузии, эпитаксии, выращивания монокристаллов полупроводников, вакуумного напыления, литографии и сборки в производстве микроэлектронных устройств.
     Для специалистов, работающих в области технологии микроэлектронных устройств и учащихся профтехучилищ.