Название: Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
Автор: Брюэр Дж. Р., Гринич Д. С., Херриот Д. Р., Хендерсон Р. К. и др.
Год издания: 1984
Страниц: 336
Формат: djvu
Размер: 4,44 MB
Описание: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии.
     Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.