Название: Кремний - металл наноэлектроники
Автор: Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н.
Год издания: 2007
Страниц: 352
Формат: djvu
Размер: 6,61 MB
Описание: Монография посвящена рассмотрению проблем и возмож­ностей использования кремния для создания приборов и уст­ройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических огра­ничениях.
     Рассмотрены наиболее перспективные технологические воз­можности формирования наноразмерных кремниевых структур.