Название: Микролитография
Автор: Моро У.
Год издания: 1990
Страниц: Часть 1 - 605; Часть 2 - 632
Формат: PDF
Размер: 81,97 MB
Описание: Книга крупного американского специалиста по сути представляет собой энциклопедию, посвященную микролитографии, материалам для полупроводниковой технологии и вспомогательным технологическим операциям.
     В 1-й части рассматриваются различные виды резистов, методы их нанесения, сушки, экспонирования, травления, а также процессы рентгеновской, ионно-лучевой, электронно-лучевой и фотолитографии.
     Во 2-й части рассматриваются процессы обработки экспонированных резистных структур: проявление, задубливание, травление, методы и возможности безрезистной технологии, методы контроля технологических процессов.
     Для специалистов по технологии микроэлектроники, студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специальностей.