Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов » Библиотека радиолюбителя
Логин:
Пароль:
Меню сайта
Главная Форум сайта RKniga.ru Форум Правила сайта Книги Журналы Программы, Софт Программы Ссылки Написать нам
Последние материалы
  • Каршеринг в Москве - это Просто, Удобно и Недорого.
  • Полевые транзисторы и их применение в технике связи. Монография
  • Журнал РадиоЛоцман 2017 №1
  • Линейные усилители переменного сигнала
  • Фотопреобразователи солнечной энергии. Учебное пособие
  • Основы проектирования лазерных локационных систем
  • Домашний электрик. Мелкий ремонт и простой монтаж в квартире и доме
  • Электрические измерения. Учебник. 8-е изд
  • Журнал Nuts and Volts 2017 №2
  • Измерительное телевидение. Учебное пособие для вузов
  • Популярные материалы
    Случайная схема
    Друзья сайта
  • Радиолюбительская библиотека
  • RKniga.ru - Библиотека радиолюбителя » Книги » Справочник » Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
    Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
    Добавлен: 20-01-2014, 18:42 Просмотров: 713 Комментарии: 0

    Название: Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов
    Автор: Брюэр Дж. Р., Гринич Д. С., Херриот Д. Р., Хендерсон Р. К. и др.
    Год издания: 1984
    Страниц: 336
    Формат: djvu
    Размер: 4,44 MB
    Описание: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии.
         Для широкого круга инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.

    Скачать "Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов" с:
    NashDisk.ru


    Категория: Книги » Справочник
    « Назад
    Комментарии